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PAS-XY StagePBAXY微动校准平台是用于XY运动的双轴平台。具有低组装、结构紧凑和高精度定位等特点。平台动力来源于PBA直驱电机并内置高分辨率编码器。适用于利用图像处理的校准处理,如半导体和液晶相关制造设备,以及测量设备和检测仪器的定位机构。