PBAXY微动校准平台

PBAXY微动校准平台,校准平台,校正模组

PAS-XY StagePBAXY微动校准平台是用于XY运动的双轴平台。具有低组装、结构紧凑和高精度定位等特点。平台动力来源于PBA直驱电机并内置高分辨率编码器。适用于利用图像处理的校准处理，如半导体和液晶相关制造设备，以及测量设备和检测仪器的定位机构。