PBA X Y θ PBA X Y θ 微 动 校

PBAXYθ微动校准平台,校准平台,直线电机

PBA X Y θ 微 动 校 准 平 台是用于XYθ运动的3轴平台。具有低组装、结构紧凑和高精度定位等特点。 平台动力来源于PBA 直驱电机并内置高分辨率编码器。PAS-XYR Stage适用于利用图像处理的校准 处理，如半导体和液晶相关制 造设备，以及测量设备和检测 仪器的定位机构。